Super Low Power Hot-Surface Silicon Devices for Chemical Sensors and Actuators (07682)

Project nummer: 07682

Omschrijving van het onderzoek

Among a large variety of chemical sensors and chemical actuators (i.e., micro-reactors) being developed, electrical devices utilizing hot surfaces are of great importance. Present state of the art does not allow downscaling of chemical sensors and actuators to the dimensions enabling their integration on a chip using a CMOS-compatible technology. The CMOS-compatible fabrication of chemical sensors and actuators will allow their direct connection to an integrated circuit on the same piece of silicon and, therefore, will result in a tremendous decrease of the manufacturing costs and add extra functionalities to the chip. The approach, being utilized in this project, employs the idea of maintaining a micro- or nano-scale hot surface by dissipating heat inside a nano-scale conductive link acting as a resistor. The project aims at investigating the feasibility of using the CMOS-compatible link-based hot-surface devices in chemical sensors and actuators.

Gebruikers

Five companies are involved in this project.

Projectleider

Dr. A.Y. Kovalgin
Universiteit Twente
MESA+ Research Institute for Nanotechnology
Postbus 217
7500 AE Enschede

Status van het project

Startdatum:	01-01-2007
Einddatum:	30-06-2012

Print | Over deze site |

Sitemap | Voorbehoud | Gewijzigd 17-2-2009

Nieuws uitgelicht

Nieuwsbrief Technologiestichting STW, januari 2012

31 januari 2012

Elke maand stuurt Technologiestichting STW haar relaties een link naar de web-based nieuwsbrief. Hierin staat een maandelijks overzicht van het jongste nieuws van de bestuurstafel, onderzoeksnieuws, o... [meer]